我國首條石英玻璃基板成套生產線建成

　　

　　該生產線的建立，是建材總院承擔的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關鍵技術研發及示范”課題的成果之一。

　　

　　石英玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件，市場需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有熱穩定性好、光學均勻性高、耐輻照等諸多優點。然而，受原材料純度、均勻性及加工精度、硬脆特性等制約，我國石英玻璃基板長期依賴進口。

　　

　　作為我國唯一專業從事石英玻璃研究的科研院所，建材總院石英院科研人員經不懈努力，形成一套符合我國行業現狀與發展趨勢的獨有工藝路線，不但解決了石英玻璃基板原材料的純度、均勻性難題，同時實現了原材料綠色制造；引入多刀切割、安全快速磨拋工藝，創造性地開發了熔拉制坯、數控倒角等技術，解決了石英玻璃基板加工精度的難題。從基板原材料制造到產品加工，該院形成專利20余項，行業標準、國軍標及國家標準10余項，開發出了多種規格的石英玻璃基板、晶圓、透鏡等系列產品，不僅逐步替代進口，而且出口歐洲、日本等國。