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首條光刻石英玻璃基板成套生產(chǎn)線建成

放大字體 縮小字體 發(fā)布日期:2016-06-13 10:07 瀏覽次數(shù):343
      近日,中國建材總院石英院基于光刻用石英玻璃基板綠色制造技術(shù),在衢州建立了國內(nèi)首條從基板原材料制造到產(chǎn)品加工的成套生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線可年產(chǎn)20000片4-6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及產(chǎn)品長期依賴進(jìn)口的局面。
 
  該生產(chǎn)線的建立,是中國建材總院承擔(dān)的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及示范”課題的成果之一。石英玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件,市場需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料,合成石英玻璃具有熱穩(wěn)定性好、光學(xué)均勻性高、耐輻照等諸多優(yōu)點(diǎn)。然而,受原材料純度、均勻性及加工精度、硬脆特性等制約,我國石英玻璃基板長期依賴進(jìn)口。
   
  作為我國唯一專業(yè)從事石英玻璃研究的科研院所,中國建材總院石英院依托浙江衢州高新園區(qū)的化工資源,形成了循環(huán)經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)鏈,建立了高性能石英玻璃研發(fā)基地,并成立中建材衢州金格蘭石英有限公司。經(jīng)科研人員不懈努力,形成一套符合我國行業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢的獨(dú)有工藝路線,不但解決了石英玻璃基板原材料的純度、均勻性難題,同時實(shí)現(xiàn)了原材料綠色制造。石英院還引入多刀切割、安全快速磨拋工藝,創(chuàng)造性地開發(fā)了熔拉制坯、數(shù)控倒角等技術(shù),解決了石英玻璃基板加工精度的難題。從基板原材料制造到產(chǎn)品加工,石英院形成專利20余項(xiàng),行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、國軍標(biāo)及國家標(biāo)準(zhǔn)10余項(xiàng),開發(fā)出了多種規(guī)格的石英玻璃基板、晶圓、透鏡等系列產(chǎn)品,不僅逐步替代進(jìn)口,實(shí)現(xiàn)了集成電路等用高性能石英玻璃關(guān)鍵材料及制品的國產(chǎn)化,而且出口歐洲、日本等國。
 
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