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主要技術參數：
1. 極限真空度：5.0x10-4Pa；
2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；
3. 抽速：從大氣抽至6.67x10-3Pa，＜9分鐘；
4. 壓升率：0.45Pa/小時；
5. 自轉軸中心距：156mm；
6. 工位：18個（工件架最大自轉半徑為130mm）；
真空鍍膜機PVD12512
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真空鍍膜機PVD12512
詳細信息 主要技術參數：
1. 極限真空度：5.0x10-4Pa；
2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；
3. 抽速：從大氣抽至6.67x10-3Pa，＜9分鐘；
4. 壓升率：0.45Pa/小時；
5. 自轉軸中心距：156mm；
6. 工位：18個（工件架最大自轉半徑為130mm）；
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