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主要技術參數：
1. 極限真空度：6 x 10-4；
2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；
3. 抽速：從大氣抽至6.67x10-3Pa，＜10分鐘；
4. 壓升率：0.35Pa/小時；
5. 自轉軸中心距：370mm；
6. 工位：8個（工件架最大自轉半徑為160mm）；
真空鍍膜機PVD1516
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真空鍍膜機PVD1516
詳細信息 主要技術參數：
1. 極限真空度：6 x 10-4；
2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；
3. 抽速：從大氣抽至6.67x10-3Pa，＜10分鐘；
4. 壓升率：0.35Pa/小時；
5. 自轉軸中心距：370mm；
6. 工位：8個（工件架最大自轉半徑為160mm）；
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