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"掃描二維碼，關注協會動態"
| 產品型號 | CS200 |
| 量程(N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
| ( 0～1,2,3,5,10,20,50)SLM | |
| 精度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±0.5% FS |
| 響應時間 | ≤1sec |
| 閥類型 | Normally Closed or Normally Open |
| 溫度系數 | Zero: ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃ |
| 零點漂移指標 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 表面粗糙度 | 25µinch |
| 工作環境溫度 | （5～45）℃ |
| 數字信號接口 | RS485 |
| 模擬流量輸出信號 | 0-5V和4-20mA |
| 模擬流量控制信號 | 0-5V和4-20mA |
| 電源要求 | ±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) |
| 電連接器 | D sub 9 pins male，D sub 15 pins male |
| 工作壓差范圍 | (0.05～0.35) Mpa（≤10slm） (0.1～0.35) Mpa（＞10slm） |
| 最大耐壓 | 3MPa |
| 漏率 | 1×10-9atm·cc / sec He（1×10-10 Pa·m3 / sec He） |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton |
| 接頭尺寸 | VCR1/4” M；M SwagelokΦ3；SwagelokΦ6；Swagelok1/4”； |
| 重量 | 1kg |
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