全自動高溫蝕刻臺

清洗規格為2 inch ,2cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；4 inch，1 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；熱酸排放制程10min左右完成，加熱模組可加熱至600℃；全程自動化控制，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩，機械臂定位精度高，并可選配進口自動滅火系統；分體式CDS自動供液系統；尾氣 Scrubber系統；各方面技術均為國內首創，滿足了飛速發展的LED產業需要，實現了產品的自主創新和技術進步。       至此，CGB公司成為目前國內大陸唯一一家能夠成功研制高溫濕法蝕刻設備并正式投放到大型生產線的制造企業，填補了國產設備在LED高溫制程生產工藝領域的空白。