七星華創 sevenstar 氣體質量流量控制器

產品類型

高精度型,快響應型

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm

產品精度

±1％F.S.(20slm ±2％F.S.)

重復精度

±0.2% FS

線性

±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.)

響應時間

≤1.5sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

輸入輸出信號

(0~5)VDC

電源

±15V

閥類型

- 無 -

溫度系數

Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃

零點飄移指標

- 無 -

電氣連接

D sub 15 pins Male

工作壓差范圍

(0.1～0.5) MPa

漏率

1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）

標準接頭形式

雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭

表面化學成分

- 無 -

表面粗糙度

- 無 -

抗電磁干擾

CE

重量

1.2Kg